不过这只是开始,王岸然要买的不仅仅是一摊子设备,二是要消化技术。
就那光刻机来说,这套设备使用的是尼康生产的gkl107436纳米波长紫光光源,用的是高压汞灯过滤之后色波长。
这套设备用不了几年就会被淘汰。
相比于市场上更为先进的248纳米的紫光光源光刻机落后了两代,中间相隔了一代365纳米光源光刻机。
要知道365纳米和248纳米光源,中间隔了一道鸿沟。
436纳米紫光光源演进到365纳米紫光光源,只能说是技术的进步,所用的光源都是高压汞灯。
而到了248纳米紫光光源,那就是技术的换代,所用的光源是卤素激光光源。
而且,王岸然记得很清楚,在1995年,193纳米紫光激光光源的光刻机在技术上已经取得重大突破,在今后的几年也将投入市场。
要知道,芯片生产的核心装备光刻机,每一次更新换代付出的代价,至少是百亿美的数量级金,而且越往后越难。
历史上,193纳米紫光光刻机之后的换代,玩死了一大批老牌光刻机厂家。
原本全世界可以生产光刻机的有十三家,日本就有四家,到157纳米光刻机之后,也就ASML能勉强活下来,其他一大批厂家要么倒闭,要么半死不活。
岛国最顶尖的尼康和佳能,也因为方向错误,在157纳米干式光刻与ASML浸没式光刻机在竞争中落败。
再加上ASML又搞出个双工作台技术,大大提高了芯片的生产力和精度。
让两大巨头彻底从生产高端光刻机,沦为售卖中低端产品,再也无力最顶尖的极紫光光刻机的竞争。
到了9102年,全世界的高端市场,只养活了一家ASML。
事实上,如果没有台积电,Intel,三星等芯片巨头的输血,硕果仅存的ASML也将被市场的浪潮吞没,光是台积电和三星,在2016年就投了20亿欧元,砸在ASML身上。
难,真难,也不一定会取得成功,光刻机的研究就是吞金巨兽,有没有意义?
这是肯定的。
这不是钱的事。
但光刻机,光刻胶,蚀刻机,封装设备,光凭华芯科技一家,吃透这些技术基本上不可能,这需要调动全社会的力量。
在清大的光学研究所,王岸然生了一肚子的闷气。
刘本清教授在激光光源上耕耘一生,在1971年,参与了我国第一台紫光干涉激光的研制,在1980年,负责国家第一台接近式JL_01光刻机的研制。
他实在受不了,自己的研究工作,会受一个毛头小伙子的指点。
而王黯然也是气不过,自己在光学研究所投了上千万,现在好了,就是增加一个浸没式光刻机的探讨研究,就这么难?
“王总,我再重申一遍,浸没式光刻机虽然在理论上可以缩小投影图,不过在实际操作上,已经被证明了,这套技术行不通,研究下去就是浪费钱。”
“刘教授,我只是建议在这上面再做一些探讨,而且这项技术并没有证明行不通,而是还没有行通。”
刘本伟不屑一顾。
“王总,我跟你说这句话是实事求是的,浸没式光刻技术在七八年前就有立项,其中的困难跟你说,你也不清楚。
我只想说明一点,有那个精力研究浸没式光刻机,把精力投到紫光激光光源上,效果会好的多。”
看来在这个时代,大家的普遍意识就是,搞浸没式光刻机是条绝路。
王岸然深吸一口气,犟鸭子嘴硬的科研人员太多了,自己当初也是他们的一员,跟刘本清生气,就是跟自己生气。
这些人要是犯气牛脾气来,能把天捅破,唯一的解决之道,就是以德服人,哦,不,是以理服人。
“超高纯度折射率液体,往往水里有一粒微尘,或者一个气泡,或者多了一些离子,都可能对加工造成巨大的影响。
再加上高纯水浮在晶片上,目前的光刻胶中的分子会溶进水中,造成液体介质污染,刘教授,我说的没错吧!”
刘本清在王岸然说第一句话的时候就愣住了,什么情况,他懂。
待到王岸然将两大技术难点合盘而出,刘本清说道:“王总,你……?”
王岸然装着没看见,背过身,继续说道:“除了两大问题,在实际操作中,也会面临平台的稳定性,校准系统,曝光时间等问题,需要按每台机器的类型多次调试……”
刘本清想给王岸然竖个大拇指,说一声牛,这些资料可不怎么容易找到。
“王总,既然你知道浸没式光刻机的缺陷,还需要继续坚持吗?”
王岸然点点头,说道:“为什么不!刘教授,高纯水介质我们可以自己研发也可以跟外国合作,厌水光刻胶我们也可以这么办,当然,也可以考虑在光刻胶上再喷一道绝水薄膜,没有试过,怎么知道不行!”
“我们试过很多种办法!”
“那就再试,试到解决为止……”
王岸然毫不客气,作为投资人,他是来发布命令的,而不是跟你讨价还价。
浸没式光刻机肯定是未来的方向,而且波长越长,通过折射后,缩微的效果越明显。
况且,光刻机的波长并能完全决定芯片的制程,通过特定的曝光方式也可以提高制程。
事实证明,193纳米的紫光光源,也可以进行65纳米芯片工艺的生产。
以前世对半导体芯片制造的理解,浸没式光刻,多重曝光方式能够取得进步的话,完全可以将这台东芝的二手货,改造成一台可以生产800纳米工艺的芯片加工厂,甚至更为先进的320纳米工艺也不是不可能。
只不过芯片生产的效率,肯定会差很多,但至少说明一点,我们掌握了这项技术。
而且通过这一过程,华芯科技还可以积累这部分的专利,在ASML前面设置一套专利壁垒。
至于这套专利有什么用,王岸然无法评估,按照他的估计,到那个时候,美利坚政府应该也会插手吧!
还有五年的时间,王岸然在纸上写下磁悬浮双工作台,浸没式光刻系统,两大未来发展方向。
这次他不打算,光靠国内研究机构的力量。
“该到寻找外援的时候了!” 蓝星,夏国。
肿瘤科病房,弥漫着医院独有的消毒水味道。病房是单人间,设施俱全,温馨舒适。
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可对于孑然一身的路遥来讲,却是无人问津的等死之地。
他是癌症晚期,靠着意志力撑到现在,但也只是多受几天罪罢了。
此刻,路遥躺在病床上,怔怔望着床头柜上的水杯,想喝口水。
可他拼尽全力却无法让身体离开病床。剧痛和衰弱,让这原本无比简单的事情成了奢望。
这时,一道幸灾乐祸的声音响起:“表哥~你真是狼狈呢。连喝口水都得指望别人施舍。”
一位英俊的年轻男子悠闲坐在病床前,翘着二郎腿,眼睛笑成一道缝。
“你求求我,我给你喝口水如何?”
路遥面无表情,一言不发。自从失去了自理能力,一帮亲戚的嘴脸已经见多了,不差这一个。
男子起身,将水杯拿在手里递过来,“表哥别生气,我开玩笑的,你对我这么好,喂你口水还是能办到的。”
说完话,他将水杯里的水,缓缓倒在路遥苍白消瘦的脸上。
被呛到,路遥无力的咳嗽几声,好在少量的水流过嗓子,让他有了几丝说话的力气:
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“张鑫,为什么?我从未得罪过你。你去星盟国留学,还是我资助的!”
张鑫将水杯放下,不紧不慢的说:“谁让你这么古板呢,只是运点感冒药罢了,又不犯法,你非得千方百计的拦着。”
路遥脸上闪过一丝了然之色,道:“张鑫你这垃圾,狗改不了吃屎。将感冒药运到国外提炼毒品……咳咳……”
张鑫理了下领带,笑道:“你别血口喷人啊,我可是国际知名企业家。这次回国,‘省招商引资局’还打电话欢迎我呢~”
路遥叹了口气,现在的自己什么都做不了,索性闭上眼睛不再说话,安静等待死亡的到来。
但张鑫却不想让眼前饱受病痛折磨、即将离世的表兄走好。他附身靠近,悄悄说道:琇書蛧
“表哥啊~其实呢,我这次回国主要就是见你一面,告诉你一声——你的癌,是我弄出来的~”
路遥陡然挣开眼,“你说什么!”
张鑫笑眯眯的掏出个铅盒打开,里面是件古怪的三角形饰物,仅有巴掌大小,中间是只眼睛似的图案,一看就很有年代感。
“眼熟吧?这是我亲手送你的,货真价实的古董。我在里面掺了点放射性物质,长期接触就会变成你现在这副鬼样子。”
路遥马上认出来,这是自己很喜欢的一件古物,天天摆在书桌上,时不时的把玩,没想到却是要人命的东西!
他伸出枯枝似的手臂,死死的抓住眼前人的胳膊!“你……”
“别激动~表哥,我西装很贵的。”张鑫轻松拿掉路遥的手,小心的捏起铅盒,将放射性饰物塞进他怀里。
“我赶飞机,得先走一步。你好好留着这个当做纪念吧,有机会再去你的坟头蹦迪~”
说完话,张鑫从容起身离开。临走前,还回头俏皮的眨眨眼。他原本就男生女相,此时的神态动作居然有些娇媚。
保镖很有眼力劲,赶紧打开病房门。同时用无线耳麦联络同事,提前发动汽车。
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路遥只能无力的瘫在床上,浑身皆是钻心剜骨般的剧痛,还有无穷悔恨、不甘。
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但很快,剧痛渐渐消失,只剩麻木,路遥隐约听到过世的双亲在喊他。
就在路遥的身体越来越飘,即将失去意识时,胸口突然阵阵发烫,将他惊醒。
从怀中摸出那三角形饰物,发现这玩意变得滚烫无比,还在缓缓发光!
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